日本EBARA JITSUGYO:開發(fā)新型無水銀臭氧監(jiān)測儀的通知

日本EBARA JITSUGYO開發(fā)了環(huán)保的無水銀臭氧監(jiān)測儀。

1.產(chǎn)品名稱

EG-3100系列(面向上下水道設(shè)施的高精度臭氧監(jiān)視器)

EG-690(半導(dǎo)體制造工藝用直排型臭氧監(jiān)視器)

2.概要

日本EBARA JITSUGYO的臭氧監(jiān)測儀是利用紫外線吸收法精密測量氣體中和水中臭氧濃度的測量儀器。

到現(xiàn)在為止一直使用水銀燈作為紫外線的光源。

此次開發(fā)的新型臭氧監(jiān)測儀是針對社會對環(huán)境的關(guān)注，采用UV-LED光源中采用實(shí)現(xiàn)無水銀。另外，通過修正發(fā)光特性的技術(shù)，UV-LED光源很難實(shí)現(xiàn)使被認(rèn)為是詩的高精度的測定成為可能。

日本EBARA JITSUGYO作為日本臭氧測定技術(shù)的先驅(qū)者，對于臭氧的合理利用是必不可少的。

另外，有預(yù)處理系統(tǒng)和臭氧監(jiān)測儀，可以根據(jù)不同的條件進(jìn)行準(zhǔn)確的測量。

負(fù)責(zé)配套臭氧濃度測量設(shè)備的開發(fā)、設(shè)計、制造、維護(hù)。利用涉及的領(lǐng)域很多，特別是上下水道設(shè)施的高級處理工藝和半導(dǎo)體工廠的生產(chǎn)工藝中常年采用，擁有日本國內(nèi)很大的市場占有率。

此次開發(fā)的新產(chǎn)品是根據(jù)社會對環(huán)境的關(guān)注，采用UV-LED光源，實(shí)現(xiàn)了無水銀。另外，通過修正發(fā)光特性的技術(shù)，UV-LED實(shí)現(xiàn)了光源難以實(shí)現(xiàn)的高精度測量，使用了傳統(tǒng)的水銀燈具有與臭氧監(jiān)測同等的精度。

1、高精度臭氧監(jiān)視器:eg -3100系列

·采用UV-LED光源實(shí)現(xiàn)無水銀化

·發(fā)光修正技術(shù)實(shí)現(xiàn)了與低壓水銀燈產(chǎn)品同等的精度

·囊括凈水過程臭氧處理中的所有氣體測量點(diǎn)的生產(chǎn)線

·高精度、高分辨率，可適用于研究和開發(fā)用途

2、輪滑型臭氧監(jiān)視器:eg -690

·采用UV-LED光源實(shí)現(xiàn)無水銀化

·發(fā)光修正技術(shù)實(shí)現(xiàn)了與低壓水銀燈產(chǎn)品同等的精度

·可在半導(dǎo)體制造工藝的臭氧氣體管道中單排設(shè)置

·適合裝置組裝